無塵車間的溫、濕度應根據(jù)生產工藝要求確定當生產工藝無具體要求時，其溫度可按20～26℃，相對濕度30%～70%采用。人員凈化用室和生活用室的溫度可按16～28℃采用。根據(jù)與國際ISO標注接軌的中國國家標準GB-50073，這類潔凈室（區(qū)）的潔凈度等級1～9級，其中1～5級，氣流流型為單向流或混合流，風速0.2～0.45m/s；6級氣流流型為非單向流，換氣次數(shù)50～60次/h；7級氣流流型為非單向流，換氣次數(shù)15～25次/h；8～9級氣流流型為非單向流，換氣次數(shù)10～15次/h。

根據(jù)現(xiàn)行規(guī)范，工業(yè)電子無塵車間潔凈室內的噪聲級（空態(tài)）：不應大于65dB(A)

1. 電子制造廠無塵車間垂直流潔凈室滿布比不應小于60%，水平單向流潔凈室不應小于40%，否則就是局部單向流了。

2. 電子無塵車間與室外的靜壓差不應小于10Pa，不同空氣潔凈度的潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)之間的靜壓差不應小于5Pa。

3. 電子行業(yè)萬級無塵車間內的新鮮空氣量應取下列二項中的大值：

4. 補償室內排風量和保持室內正壓值所需的新鮮空氣量之和。

5.保證供給潔凈室內每人每小時的新鮮空氣量不小于40㎡。

無塵室的送風量，應取下面三項中的大值：

1.保證電子制造廠無塵室空氣潔凈度等級的送風量。

2.根據(jù)熱，濕負荷計算確定電子廠潔凈室的送風量。

3.向電子制造廠潔凈室內供給的新鮮空氣量。

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